1，電解法
五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個玻璃材質(zhì)的圓柱和兩根并行的電極組成，根據(jù)具體應(yīng)用來選擇電極材質(zhì)（通常由鉑或銠金屬絲制成），并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4，在兩電極之間出現(xiàn)的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2。此過程的zui終產(chǎn)物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質(zhì)，因此從樣氣中吸收水分，通過連續(xù)的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應(yīng)該是平衡的。電極電流與樣氣中水分含量成比例，信號經(jīng)過儀器內(nèi)部信號放大器處理，然后顯示并數(shù)據(jù)讀出。此原理用來測量所有氣體。包 括Cl2、HC l 、H2S、H2SO4 、HBr、SO2 、SF6 、CO2等氣體和全部惰性氣體，極少數(shù)會同磷酸發(fā)生化學反應(yīng)的氣體除外。
P2O5探頭適用于測量各種惰性氣體、碳氫化合物或根據(jù)所選擇的探頭材質(zhì)應(yīng)用于HCl、Cl2或SO2等腐蝕性氣體中。探頭與樣氣接觸的材料可以是玻璃、鉑或銠，其他材質(zhì)也可以提供。
樣氣以特別的傳遞方式流經(jīng)探頭，再結(jié)合一個高質(zhì)量的界面。從而確保探頭響應(yīng)迅速和受干擾影響zui小，這些設(shè)計對于很低的ppm級測量十分重要。流經(jīng)探頭的樣氣流速通常設(shè)置在 20Nl/h(100Nl/h可選)。與分析儀的電氣連接器為防水密封結(jié)構(gòu)。用戶可以十分容易的在五分鐘內(nèi)完成探頭的再生工作。探頭可以通過3個M4螺絲十分容易的安裝在任何地方。
優(yōu)點：測試靈敏度高，適合非常微量的水/痕水測試，同時可以測量腐蝕性氣體。
缺點：傳感器需要定期重涂，漂移較大，易受H2，O2等背景氣影響。平衡時間長，響應(yīng)慢。
2，阻容法（電容法）
利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優(yōu)點是測量量程可更低，甚至達-100℃，另一突出優(yōu)點是響應(yīng)速度非常快，從干到濕響應(yīng)一分鐘可達90%，因而多用于現(xiàn)場和快速測量場合；缺點是精度較差，不確定度多為±2～3℃。但隨著各廠家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過改變材料和提高工藝使得傳感器穩(wěn)定度大大提高，通過對傳感器響應(yīng)曲線的補償作到了飽和線性，解決了自動校準問題。
優(yōu)點：反映速度快。
缺點：精度較差。
3，冷鏡法
讓樣氣流經(jīng)露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結(jié)露狀態(tài)（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優(yōu)點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術(shù)后，不確定度甚至可達0.1℃；缺點是響應(yīng)速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產(chǎn)生‘偽結(jié)露’造成測量誤差。
優(yōu)點：精度高。
缺點：響應(yīng)速度慢。
4，光纖法
該技術(shù)是20世紀末發(fā)展起來的一種新型測量技術(shù)，將微量水分析技術(shù)提高到了一個新的水平。光纖濕度傳感器的表面為具有不同反射系數(shù)的氧化硅和氧化鋯構(gòu)成的層疊結(jié)構(gòu)，通過先進的熱固化技術(shù)，使傳感器表面的孔徑控制在0.3nm, 0.28nm的水分子可以滲入。控制器發(fā)射出一束790－820nm的近紅外光，通過光纖電纜傳送給傳感器，進入到傳感器的水分子會改變光的反射系數(shù)，從而引起波長的變化，該變化量與介質(zhì)的水分含量成相應(yīng)的比例關(guān)系。通過測量接收到的光的波長，就可以得到介質(zhì)的露點及水分含量。
優(yōu)點：精度高，免維護，非常穩(wěn)定，可測量含H2S、HCL等的腐蝕性介質(zhì)。
缺點：傳輸光纖易折斷，需要保護。
微量水分析儀儀器特點：
儀器采用電解式原理，對水份測量，勿需校準操作。
多參數(shù)數(shù)字顯示：露點，ppm等。
測量池可拆卸，維護方便。
遠程安裝傳感器：可安裝在100m之外。
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